李云鹏
07-17 · 夜羽工作室负责人 自动化测试系统工程师,常用labview擅长跨领域整合,系统解构与系统建构。技术理念:良好的技术应让人如沐春风。
硬件测试开发
视觉量测检测设备通用框架
从3C电池AOI到半导体芯片量测:检测设备求同存异的落地感悟之前长期做3C电池外观AOI检测,最近在了解半导体芯片量测设备,越对比越有感触,想简单分享下自己粗浅的观察,欢迎行业前辈指正交流。抛开细分赛道,所有视觉量测检测设备底层逻辑、整体流程高度统一,完全可以互通。不管是锂电池成品检测,还是晶圆刻蚀前后芯片量测,整套工作流没有本质区别:按生产工序分段采集图像,对标标准模板做特征比对,识别外观瑕疵、装配贴合异常,最后输出判定结果分流不良品。电池产线会筛查封装封边贴合、表面划痕鼓包;半导体对应刻蚀前、刻蚀后分阶段成像,校验线路图形、晶圆外观、键合紧固度,分段质检、视觉成像、缺陷判定这套核心框架是通用的。真正拉开差距的,是细分场景带来的落地差异,核心根源就是精度指标的层级鸿沟。3C电池AOI仅微米级检测标准,常规工业相机、环形光源就能满足成像需求,缺陷特征直观,干扰变量少,传统视觉算法即可稳定落地;但半导体芯片量测直接来到纳米级,必须搭配高倍显微镜头、精密位移平台、干涉量测模组,同时晶圆反光、光刻衍射带来大量图像噪声,微小缺陷极难区分,图像数据处理、实时运算的复杂度成倍提升。同样一套检测流程,精度标准一变,硬件选型、算法方案、设备控制逻辑全部要重构,这也是很多通用视觉方案跨行业落地踩坑的核心原因。不过这段对比也印证了我一直沿用的一套测试量测通用方法论。我习惯先拆解全流程标准化框架,再根据场景精度、工况约束做分层适配优化,先抓通用底层流程,再针对性解决细分行业的独特难点。不管是低精度3C外观检测,还是超高精密半导体量测,这套拆解、建模、分层调控的思路都能复用。行业跨度虽大,但检测的底层逻辑从未改变,区别只在于为适配精度门槛需要解决的工程难题。现阶段对半导体高精量测的实操经验还有很多不足,也希望能多和深耕芯片设备的同行交流学习,补齐认知短板。
发布于 上海
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